سوئیچ RF-MEMS بیضوی در باند Ka با الگوی برشی جدید بهمنظور کاهش ولتاژ تحریک
الموضوعات : مهندسی برق و کامپیوترمحمد جهانبخت 1 , عباسعلی لطفی نیستانک 2 , مرتضی لطفی نیستانک 3 , محمد تندرو آغمیونی 4
1 - پژوهشکده برق جهاد دانشگاهي
2 - پژوهشکده برق جهاد دانشگاهي
3 - پژوهشکده برق جهاد دانشگاهي
4 - دانشگاه مالتی مدیا مالزی
الکلمات المفتاحية: ساختار بیضیشکل سوئیچ میکرو الکترومکانیکی ولتاژ تحریک,
ملخص المقالة :
در این مقاله یک ساختار جدید بیضوی برای کاهش ولتاژ تحریک در سوئیچهای MEMS معرفی شده است که برای استفاده در باند Ka مناسب است. در ادامه برای این سوئیچ RF یک الگوی برش عرضی جدید پیشنهاد شده که قادر است ولتاژ تحریک را مجدداً تا حدود 21% نسبت به ساختار مشابه با پل مستطیلی کاهش دهد. سایر پارامترهای سوئیچ نظیر اتلاف بازگشتی، اتلاف افزوده، و تغییر شکل مکانیکی سوئیچ تحت ولتاژ الکتریکی نیز مورد ارزیابی قرار گرفتهاند تا از مناسببودن آنها اطمینان حاصل شود. این نتایج با نتایج ارائهشده در سایر مقالات معتبر مورد مقایسه قرار گرفته و همچنین نشان داده شده که سوئیچ پیشنهادی برای کار در سیستمهای پیچیدهتر و در کنار سایر عناصر برای مقاصدی نظیر تغییردهنده فاز و آرایههای فازی مناسب است.